MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態(tai)裝(zhuang)配型諧振器(SMR)方面,論文采用上述模型分析了四分之一波(bo)長布拉格反(fan)射柵對(dui)其諧振特性的影響,得到(dao)了SMR器件獲(huo)得理想性能所需(xu)的少(shao)反(fan)射柵對(dui)數;另(ling)外,考慮到(dao)實(shi)際。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電層的(de)(de)典型(xing)厚度在幾個微米或壓力場看(kan)起(qi)來與(單晶(jing)的(de)(de))石英(ying)模式的(de)(de)石英(ying)這種類型(xing)的(de)(de)BAW被稱為(wei)固態裝配諧振(zhen)(zhen)器(qi)(SMR)。魯棒性而言(yan),,則可減(jian)少諧振(zhen)(zhen)器(qi)。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態(tai)裝配型諧(xie)振器(qi)(qi)(SMR)的模擬分析湯亮郝震(zhen)宏喬東海(hai)汪承灝摘要:正(zheng)1引言近年來(lai),薄膜體聲波諧(xie)振器(qi)(qi)(FBAR)由于其較(jiao)小的體積以及可與(yu)IC電路進行單(dan)。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣形成的諧(xie)振器(qi)是固態裝配(pei)諧(xie)振器(qi)(SMR)。在一(yi)個實施(shi)例中(zhong),襯底12由硅(gui)(Si)制成,PZ層18由氮(dan)化鋁(AlN)制成。或者,也(ye)可以使用(yong)其他(ta)的壓電材料(liao)來制作PZ層18。在一(yi)。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基(ji)于CMOS工藝的高性(xing)能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW第2頁(ye)/共6頁(ye)<上一(yi)頁(ye)下(xia)這(zhe)種類型(xing)的BAW被稱(cheng)為固態裝配(pei)諧(xie)振器(SMR)。魯棒性(xing)而(er)言,SMR比(bi)膜結構(gou)的BAW要好(hao)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種(zhong)類(lei)型的(de)BAW被(bei)稱(cheng)為固態裝(zhuang)配諧振器(qi)(SMR)。魯(lu)棒性而(er)言,SMR比膜結構的(de)BAW要好很多。在劃片和(he)裝(zhuang)配所需的(de)各(ge)種(zhong)標準(zhun)工序中,沒有機械損壞的(de)風(feng)險。壓電層和(he)電極層上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極做成(cheng)(cheng)膜結(jie)構(gou)或(huo)一(yi)并(bing)沉積到一(yi)個薄的支撐膜上,形(xing)成(cheng)(cheng)空(kong)氣一(yi)固(gu)體交(jiao)界面;還有(you)一(yi)種方式(shi)是采(cai)用“聲波鏡”形(xing)成(cheng)(cheng)反(fan)射面來實現,這種結(jie)構(gou)被稱(cheng)為“固(gu)態裝配諧振器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦(tai)酸鉛(qian)溶膠凝膠諧振器(qi)建(jian)立微型(xing)體聲波諧振器(qi)機械結構的(de)等效電(dian)路(lu)模型(xing),運用PSPICE軟(ruan)件研究4湯(tang)亮;郝(hao)震(zhen)宏(hong);喬東海(hai);汪承灝;;ZnO固態裝配型(xing)諧振器(qi)(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電(dian)薄膜諧振(zhen)器(qi)可以(yi)分類為(wei)FBAR(膜體聲諧振(zhen)器(qi))型和SMR(固態裝(zhuang)配諧振(zhen)器(qi))型。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上(shang)述聲(sheng)波器(qi)(qi)件(jian)的(de)示(shi)例為諸(zhu)如FBAR(膜體聲(sheng)波諧振器(qi)(qi))和SMR(SolidlyMoutedResonator:固(gu)態裝配諧振器(qi)(qi))的(de)薄(bo)膜諧振器(qi)(qi)。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振(zhen)器(10;110;和210)包括少部分地補償(chang)通過電極壓電疊(die)層(18)引入的(de)溫度感應效應的(de)鐵磁(ci)補償(chang)器(20;120;和220)。該補償(chang)器具有(you)正頻率溫度系數,而疊(die)層具有(you)負。
BAW_百度文庫
包含這(zhe)些壓電(dian)薄(bo)膜(mo)(mo)諧振器(qi)的濾(lv)波器(qi)也受到關注(zhu)。[0003]壓電(dian)薄(bo)膜(mo)(mo)諧振器(qi)的例子包括FBAR(薄(bo)膜(mo)(mo)腔(qiang)聲諧振器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝配諧振器(qi),Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上(shang)述壓電(dian)薄膜諧(xie)振(zhen)器(qi)分為兩(liang)種(zhong)類型,FBAR(薄膜腔(qiang)聲諧(xie)振(zhen)器(qi))和(he)SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)器(qi))。FBAR包括(kuo)層疊(die)(die)在諸如硅或(huo)玻(bo)璃的基板上(shang)的上(shang)電(dian)極膜、壓電(dian)膜和(he)下電(dian)極膜的層疊(die)(die)結構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包(bao)含這些壓電(dian)薄膜(mo)諧振器的(de)濾波器也受到關(guan)注。壓電(dian)薄膜(mo)諧振器的(de)例子包(bao)括FBAR(薄膜(mo)腔(qiang)聲諧振器,FilmBulkAcousticResonator)型(xing)和(he)SMR(固態裝配諧振器,SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另(ling)外值得一提的是,德國的Infneon公(gong)司在2003年推出(chu)了具有布拉(la)格反射(she)層結(jie)構(gou)的固(gu)貼(tie)式(shi)(又稱固(gu)態裝(zhuang)配型(xing))薄膜體聲(sheng)波諧振(zhen)器(qi)(SMR-FBAR)[9-10].而我國關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引言固態(tai)引信諧(xie)振(zhen)器是(shi)電子(zi)安(an)全系統的(de)重(zhong)要組成部分(fen)之(zhi)一(yi),它能在后(hou)坐加(jia)速度和旋(xuan)轉(zhuan)離心力的(de)作(zuo)用(yong)下(xia)向前運(yun)動,使限位保險處(chu)于(yu)鎖(suo)定狀(zhuang)態(tai),從而使引信處(chu)于(yu)待發狀(zhuang)態(tai)。但是(shi),。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫米波平(ping)面振(zhen)蕩(dang)器(qi)基片集成波導相位噪聲雙(shuang)端口(kou)壓(ya)控振(zhen)蕩(dang)器(qi)注入(ru)鎖定諧波振(zhen)蕩(dang)器(qi)毫米波平(ping)面振(zhen)蕩(dang)器(qi)是毫米波平(ping)面集成系統ZnO固態裝配型(xing)諧振(zhen)器(qi)(SMR)的(de)模擬分(fen)析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振器(10;110;和210)包括少(shao)部分地補償通過電(dian)極壓電(dian)疊(die)層(18)引入的溫度感應(ying)效應(ying)的鐵磁補償器(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞(ci):微波(bo)濾(lv)波(bo)器時(shi)域有限差分法(fa)階梯(ti)阻抗諧(xie)振器橢(tuo)圓函數濾(lv)波(bo)器多層6湯亮;郝震宏;喬(qiao)東海;汪(wang)承灝;;ZnO固態裝(zhuang)配型諧(xie)振器(SMR)的(de)模擬(ni)分析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固態微型諧振器的工作頻率(lv)高、功率(lv)容量(liang)大、損耗低(di)、體積小(xiao),是目前有望第三種為本研究采用(yong)反射(she)層聲學隔離(li)固定(ding)結構(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態裝配型諧(xie)振(zhen)器(qi)(SMR)方面,論文(wen)采用上述模(mo)型分析了(le)四(si)分之一(yi)波(bo)長布(bu)拉格反射柵對其諧(xie)振(zhen)特性的(de)影響,得(de)到(dao)了(le)SMR器(qi)件獲得(de)理想性能(neng)所需的(de)少反射柵對數(shu);另(ling)外,考慮(lv)到(dao)實際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這(zhe)樣形成的諧振(zhen)器(qi)是固(gu)態裝配諧振(zhen)器(qi)(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個實施例中(zhong),襯底(di)12由硅(Si)制(zhi)成,。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報(bao)利(li)用(yong)無線傳感器網(wang)絡實現運(yun)動(dong)聲(sheng)源(yuan)的定位與跟蹤錄取,報(bao)告用(yong)相對運(yun)動(dong)幾(ji)何求解BOT問題ZnO固(gu)態(tai)裝配型諧振器(SMR)的模擬分析PGC解調光(guang)纖傳聲(sheng)器技術的討論一種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上述壓(ya)電薄膜(mo)(mo)諧振(zhen)器分為(wei)兩種(zhong)類型,FBAR(薄膜(mo)(mo)腔聲諧振(zhen)器)和(he)(he)SMR(固態裝配諧振(zhen)器)。FBAR包括層(ceng)(ceng)疊在諸(zhu)如硅(gui)或(huo)玻璃的(de)(de)基板上的(de)(de)上電極膜(mo)(mo)、壓(ya)電膜(mo)(mo)和(he)(he)下電極膜(mo)(mo)的(de)(de)層(ceng)(ceng)疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年(nian)10月31日-壓電薄(bo)膜(mo)諧振器可分成FBAR(薄(bo)膜(mo)塊體聲(sheng)波(bo)諧振器)型(xing)和SMR(固態裝配(pei)諧振器,solidlymountedresonator)型(xing)。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳感器是(shi)混(hun)合(he)型(xing)諧振(zhen)無源(yuan)諧振(zhen)結構,其可以在制(zhi)造過程中被(bei)集成于車輛地面(mian)連(lian)接裝置(zhi)HBAR“高模薄膜體聲波(bo)諧振(zhen)器”),或(huo)者帶有布拉格反(fan)射鏡(SMR“固態裝配型(xing)諧振(zhen)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器(qi)是混合型諧(xie)振(zhen)(zhen)無源諧(xie)振(zhen)(zhen)結(jie)構,其(qi)可以在制(zhi)造(zao)過程中被集成于(yu)車輛地面連接裝(zhuang)(zhuang)置HBAR"高模薄(bo)膜(mo)體聲(sheng)波(bo)諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)"),或者帶有布拉(la)格反射鏡(jing)(SMR"固(gu)態裝(zhuang)(zhuang)配型諧(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日-[0020]壓電薄膜(mo)諧振器(qi)(qi)包括FBAR型(xing)和(he)SMR型(xing),其中FBAR是薄膜(mo)體聲波諧振器(qi)(qi)(Film-BulkAcousticResonator)的縮(suo)寫,以(yi)及SMR是固態安裝諧振器(qi)(qi)(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年(nian)10月5日-將上(shang)述壓(ya)電薄膜(mo)諧(xie)振器(qi)(qi)分為兩種類型,FBAR(薄膜(mo)腔(qiang)聲諧(xie)振器(qi)(qi))和SMR(固態裝配諧(xie)振器(qi)(qi))。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓電薄(bo)膜諧(xie)振器(qi)可分成FBAR(薄(bo)膜塊(kuai)體聲(sheng)波(bo)諧(xie)振器(qi))型(xing)和SMR(固態裝(zhuang)配諧(xie)振器(qi),solidlymountedresonator)型(xing)。FBAR具有由上(shang)部電極、壓電膜和下部電極構成的(de)。