MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態(tai)裝配(pei)型諧(xie)振器(qi)(SMR)方(fang)面(mian),論文采用上述(shu)模型分(fen)析了四分(fen)之一波長布(bu)拉(la)格(ge)反射柵對(dui)其諧(xie)振特性的(de)影響,得到了SMR器(qi)件獲得理想性能(neng)所需的(de)少(shao)反射柵對(dui)數;另(ling)外(wai),考(kao)慮到實際(ji)。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電層的(de)(de)典型厚度在幾個微米或壓力場看起來(lai)與(單(dan)晶的(de)(de))石(shi)英模(mo)式的(de)(de)石(shi)英這種類型的(de)(de)BAW被稱為固(gu)態裝配(pei)諧振器(SMR)。魯棒性而言,,則可減少諧振器。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態裝配型諧振器(qi)(SMR)的(de)模擬分析湯亮郝震宏喬(qiao)東海汪承灝摘要:正(zheng)1引言近(jin)年來,薄膜體(ti)聲波諧振器(qi)(FBAR)由于其較小的(de)體(ti)積以及可與IC電路進行單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣形(xing)成的諧振器(qi)是(shi)固態裝配諧振器(qi)(SMR)。在一(yi)個實(shi)施例(li)中,襯底12由硅(Si)制成,PZ層18由氮化鋁(lv)(AlN)制成。或者,也可以使用其(qi)他的壓電(dian)材料來制作PZ層18。在一(yi)。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于(yu)CMOS工藝(yi)的(de)高性(xing)(xing)能(neng)射(she)頻濾波器:體聲波濾波器BAW第2頁(ye)/共6頁(ye)<上一頁(ye)下(xia)這(zhe)種類型的(de)BAW被稱(cheng)為固態裝配諧振器(SMR)。魯棒(bang)性(xing)(xing)而(er)言,SMR比膜(mo)結(jie)構的(de)BAW要好。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種(zhong)類型的BAW被稱為(wei)固態裝配(pei)(pei)諧振器(SMR)。魯棒(bang)性而言,SMR比膜結構的BAW要好很多。在劃片(pian)和裝配(pei)(pei)所需的各種(zhong)標準工序中,沒(mei)有機械(xie)損壞的風險。壓(ya)電(dian)層和電(dian)極層上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和(he)電極(ji)做成膜(mo)結(jie)構或一(yi)并沉積到一(yi)個薄的支撐膜(mo)上,形成空氣(qi)一(yi)固(gu)(gu)體(ti)交界面;還有一(yi)種(zhong)方(fang)式是采用“聲波鏡”形成反射面來(lai)實現,這(zhe)種(zhong)結(jie)構被稱為“固(gu)(gu)態裝(zhuang)配諧振器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸鉛(qian)溶(rong)膠凝膠諧振(zhen)器(qi)建立微(wei)型體聲(sheng)波(bo)諧振(zhen)器(qi)機械結構的等效電路模型,運用PSPICE軟件(jian)研究4湯亮;郝震(zhen)宏(hong);喬東海;汪承灝;;ZnO固(gu)態裝配型諧振(zhen)器(qi)(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電薄膜諧振(zhen)器(qi)可以分(fen)類(lei)為FBAR(膜體聲諧振(zhen)器(qi))型(xing)和SMR(固態裝(zhuang)配諧振(zhen)器(qi))型(xing)。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上(shang)述聲波器件的示例(li)為諸如FBAR(膜(mo)體聲波諧振器)和SMR(SolidlyMoutedResonator:固態裝配諧振器)的薄膜(mo)諧振器。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振器(qi)(10;110;和(he)210)包括(kuo)少部分(fen)地補(bu)償通(tong)過電極壓(ya)電疊(die)層(18)引入的溫度感應(ying)效應(ying)的鐵磁補(bu)償器(qi)(20;120;和(he)220)。該補(bu)償器(qi)具有正頻率溫度系數,而疊(die)層具有負。
BAW_百度文庫
包含(han)這些壓(ya)電薄(bo)膜(mo)諧(xie)振(zhen)器(qi)的濾波器(qi)也(ye)受(shou)到關(guan)注。[0003]壓(ya)電薄(bo)膜(mo)諧(xie)振(zhen)器(qi)的例子包括(kuo)FBAR(薄(bo)膜(mo)腔(qiang)聲諧(xie)振(zhen)器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態裝(zhuang)配諧(xie)振(zhen)器(qi),Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上述壓(ya)電薄(bo)膜(mo)諧(xie)(xie)振器(qi)分為兩種類型,FBAR(薄(bo)膜(mo)腔聲諧(xie)(xie)振器(qi))和(he)SMR(固態裝配諧(xie)(xie)振器(qi))。FBAR包括層疊在諸如硅或玻璃(li)的(de)基板上的(de)上電極(ji)膜(mo)、壓(ya)電膜(mo)和(he)下電極(ji)膜(mo)的(de)層疊結構(gou)。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包(bao)(bao)含(han)這些壓電薄膜(mo)(mo)諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)的濾波器(qi)也(ye)受到關注(zhu)。壓電薄膜(mo)(mo)諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器(qi)的例(li)子包(bao)(bao)括FBAR(薄膜(mo)(mo)腔聲(sheng)諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和(he)SMR(固(gu)態裝配諧(xie)(xie)(xie)振(zhen)(zhen)器(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另(ling)外值得(de)一(yi)提的是,德(de)國的Infneon公(gong)司在2003年推出(chu)了(le)具有布(bu)拉格(ge)反射層(ceng)結(jie)構的固貼(tie)式(又稱(cheng)固態裝配(pei)型)薄膜體聲波諧(xie)振器(SMR-FBAR)[9-10].而我(wo)國關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引(yin)言固態(tai)引(yin)信諧振器是電子安(an)全(quan)系統的重要組成部分之一,它能在后坐加(jia)速度和旋轉離(li)心(xin)力的作用下向(xiang)前運動,使(shi)限位(wei)保險處于鎖定狀態(tai),從而(er)使(shi)引(yin)信處于待發狀態(tai)。但是,。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫(hao)米波平(ping)面振(zhen)蕩(dang)器(qi)基片集成波導(dao)相(xiang)位(wei)噪聲雙(shuang)端口(kou)壓控(kong)振(zhen)蕩(dang)器(qi)注入鎖(suo)定諧(xie)波振(zhen)蕩(dang)器(qi)毫(hao)米波平(ping)面振(zhen)蕩(dang)器(qi)是毫(hao)米波平(ping)面集成系統ZnO固態裝配型諧(xie)振(zhen)器(qi)(SMR)的模擬(ni)分析[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振器(10;110;和(he)210)包括少部分地補(bu)償(chang)通過電極壓電疊層(18)引入的(de)溫度感應效應的(de)鐵磁補(bu)償(chang)器(20;120;和(he)220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵(jian)詞(ci):微波(bo)濾(lv)(lv)波(bo)器(qi)(qi)時(shi)域有限(xian)差分法階梯阻(zu)抗諧振器(qi)(qi)橢(tuo)圓(yuan)函數濾(lv)(lv)波(bo)器(qi)(qi)多層(ceng)6湯亮(liang);郝震宏;喬東海;汪承灝;;ZnO固(gu)態裝配型諧振器(qi)(qi)(SMR)的模(mo)擬分析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要(yao)固(gu)態微(wei)型諧振器(qi)的工作(zuo)頻率高、功率容量大、損(sun)耗低(di)、體(ti)積(ji)小(xiao),是目(mu)前(qian)有(you)望(wang)第(di)三種為本研究采用反射層(ceng)聲學隔離固(gu)定結構(SolidlyMountedResonatorSMR),如圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固(gu)態(tai)裝配型(xing)諧(xie)振器(qi)(SMR)方面(mian),論文采用(yong)上述模型(xing)分(fen)析了四分(fen)之一波長布(bu)拉格反射柵對(dui)其諧(xie)振特性的影響,得(de)到(dao)了SMR器(qi)件獲得(de)理想(xiang)性能所需的少反射柵對(dui)數;另(ling)外,考慮(lv)到(dao)實際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形(xing)成(cheng)的諧(xie)振(zhen)(zhen)器是固態裝配(pei)諧(xie)振(zhen)(zhen)器(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個實施例中(zhong),襯(chen)底(di)12由硅(Si)制成(cheng),。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字(zi)報(bao)利用(yong)無線(xian)傳感器(qi)網絡實現運動聲源的定(ding)位與(yu)跟蹤錄取,報(bao)告用(yong)相(xiang)對運動幾何(he)求(qiu)解(jie)BOT問(wen)題ZnO固(gu)態裝配型諧(xie)振器(qi)(SMR)的模擬分析PGC解(jie)調(diao)光纖傳聲器(qi)技術的討論一種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上述(shu)壓(ya)電(dian)薄膜諧振器分為兩種類型,FBAR(薄膜腔聲諧振器)和SMR(固態裝配諧振器)。FBAR包括層(ceng)疊(die)在諸如硅(gui)或(huo)玻璃的基板上的上電(dian)極膜、壓(ya)電(dian)膜和下(xia)電(dian)極膜的層(ceng)疊(die)。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月31日(ri)-壓電薄膜(mo)諧振(zhen)器(qi)可分成FBAR(薄膜(mo)塊體聲波(bo)諧振(zhen)器(qi))型(xing)和(he)SMR(固態裝配(pei)諧振(zhen)器(qi),solidlymountedresonator)型(xing)。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳感器是(shi)混(hun)合型諧振(zhen)無源諧振(zhen)結構,其可以在制造(zao)過程中被集成于車輛地面連(lian)接裝置HBAR“高模(mo)薄膜(mo)體聲波諧振(zhen)器”),或者帶有布拉格反射鏡(SMR“固態裝配型諧振(zhen)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器是(shi)混合型諧振(zhen)無源諧振(zhen)結構,其可以在制(zhi)造(zao)過程中被集成于車輛地面連接裝置HBAR"高模薄膜體聲(sheng)波諧振(zhen)器"),或者帶有布拉格反(fan)射鏡(jing)(SMR"固態裝配型諧振(zhen)器"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日-[0020]壓電薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)器(qi)包(bao)括(kuo)FBAR型和(he)SMR型,其中(zhong)FBAR是薄(bo)膜體聲波諧(xie)振(zhen)器(qi)(Film-BulkAcousticResonator)的縮寫,以(yi)及SMR是固(gu)態(tai)安裝諧(xie)振(zhen)器(qi)(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月(yue)5日-將上述(shu)壓電薄膜諧振器(qi)分為兩種類型,FBAR(薄膜腔聲諧振器(qi))和SMR(固態裝配諧振器(qi))。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓電(dian)薄膜諧(xie)振器可分成FBAR(薄膜塊(kuai)體聲波諧(xie)振器)型和SMR(固態裝(zhuang)配(pei)諧(xie)振器,solidlymountedresonator)型。FBAR具有由上部電(dian)極(ji)、壓電(dian)膜和下部電(dian)極(ji)構成的。