化學機械研磨后清洗技術簡介_百度文庫
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芯片制造化(hua)學(xue)機械研磨廢水處(chu)理回(hui)用摘要:化(hua)學(xue)機械研磨廢水產生(sheng)量大(da)但總(zong)體污染物濃度不(bu)高,回(hui)用潛力巨大(da),其處(chu)理及回(hui)用技(ji)術是芯片制造企業的研究。文章。
化學機械研磨廢水處理及回用技術的研究進展-《環境科學與技術》
“楔形”TEM樣品的機械研磨制備技術(shu)張啟華,趙燕(yan)麗,高(gao)強,李明(ming),牛(niu)崇實,簡維廷(中芯國際(ji)集成電路制造有限公司,上海201203)摘要:介(jie)紹了一種用機械。
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本發明提供(gong)了一(yi)種化學機械研磨的方法,包括下列(lie)步驟:提供(gong)半導(dao)體(ti)襯(chen)底,所(suo)述(shu)半導(dao)體(ti)襯(chen)底上具有介質(zhi)(zhi)層(ceng),所(suo)述(shu)介質(zhi)(zhi)層(ceng)內包含通孔和/或溝槽;在介質(zhi)(zhi)層(ceng)上及通孔和/或溝槽的。
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一種化學機械研磨的方法_百度搜索
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2012年1月(yue)18日-什么是研(yan)磨加工?發布時間:2013-01-18來源:機械專家網利用涂敷或壓(ya)(ya)嵌(qian)在研(yan)具上的磨料顆粒(li),通(tong)過研(yan)具與(yu)工件在一(yi)定壓(ya)(ya)力。
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先進銅化學機械研磨技術半導體工藝突破65nm節點-測試與測量-
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機械加工中哪些用到研磨工藝_百度知道
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