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2008年(nian)7月31日-三氯(lv)氫(qing)硅(gui)生(sheng)產過程產生(sheng)的不凝(ning)氣以(yi)及三氯(lv)氫(qing)硅(gui)合成爐(lu)置(zhi)換(huan)清爐(lu)廢氣,經洗滌塔水洗(一級)處理。輸送產生(sheng)的硅(gui)塵,通過網袋過濾(lv)器和水環(huan)真(zhen)空泵處理,廢水事故(gu)。

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本文針(zhen)對(dui)這一瓶頸,介紹了(le)四氯(lv)化硅(gui)氫(qing)化生產三(san)氯(lv)氫(qing)硅(gui)技術,并研究了(le)反應壓力、氫(qing)氣與四氯(lv)化硅(gui)配(pei)比(bi)、反應溫度(du)以及硅(gui)粉層高度(du)對(dui)該(gai)技術轉(zhuan)化率的影響.同時,還介紹了(le)該(gai)技術。

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2010年6月21日-硅(gui)粉經過干燥后(hou)加人到三(san)氯(lv)氫(qing)硅(gui)合成(cheng)爐,與氯(lv)化氫(qing)在300℃左右的高(gao)溫下反應,生(sheng)成(cheng)三(san)氯(lv)氫(qing)硅(gui)和四氯(lv)化硅(gui)。生(sheng)成(cheng)的粗三(san)氯(lv)氫(qing)硅(gui)氣體(ti)經過旋(xuan)風分離(li)和除塵(chen)過濾后(hou),進人。

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