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2013年3月(yue)19日-1032CN200910020810.2一種(zhong)碳(tan)化硅基增強復合陶瓷及制備(bei)方法1033CN200810237334.5一種(zhong)碳(tan)化硅匣(xia)缽(bo)磚生(sheng)產工藝1034CN200710304217.1一種(zhong)用于微電(dian)子機(ji)械系統的碳(tan)化硅。

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