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論文:摘(zhai)要:微電(dian)子機(ji)械系統(MEMS)是一項21世紀可以廣泛應用的新興技(ji)術(shu)。硅微機(ji)械加(jia)工工藝(yi)是近年(nian)來隨著集(ji)成電(dian)路工藝(yi)發展起(qi)來的MEMS主(zhu)流技(ji)術(shu)。介(jie)紹了MEMS的特點。

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設備優點:1.成(cheng)品顆粒(li)形(xing)狀好多(duo)棱形(xing)(比表(biao)面積大(da)),適合(he)客戶(hu)要求。2.成(cheng)品率高,細粉少35-160目成(cheng)品占88%以上(shang);325目以下。

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2011年(nian)10月14日-免責(ze)聲明:機械專家網對刊登之(zhi)所有(you)信(xin)息不(bu)聲明或(huo)保(bao)證其(qi)內容之(zhi)正確(que)性或(huo)可靠性;您于此接受并(bing)承認信(xin)賴任何信(xin)息所生之(zhi)風險應自(zi)行承擔。機械專家網有(you)權但無。

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硅(gui)微機械加(jia)工技術,作(zuo)者:(法)M.埃爾溫斯波克//(捷)H.揚森(sen)譯者:姜巖峰,ISBN:9787502592585,化(hua)學(xue)工業,2008-05-01第1版2008-05-01第1次(ci)印刷。博(bo)庫網全場。

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