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2013年3月19日-1033CN200810237334.5一種碳(tan)化硅匣缽(bo)磚生產工藝1034CN200710304217.1一種用于(yu)1071CN200910098875.9含(han)碳(tan)的碳(tan)化硅密封環及其制備方法(fa)1072CN200780044779.5。

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導(dao)體器件(jian)制造方法,其采(cai)用可以(yi)很容易地去除蝕刻阻止膜或碳化硅制成(cheng)的硬掩膜的工藝$240200710171711一種(zhong)碳化硅陶瓷密封(feng)環(huan)[摘要]本發明(ming)涉及(ji)一種(zhong)碳化硅陶瓷密封(feng)環(huan)。

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