鎢電極研磨工藝的機械化-《電焊機》2004年09期
2004年9月23日-鎢電極(ji)研磨(mo)工(gong)藝機械化焊(han)(han)接電極(ji)頭表(biao)面粗糙(cao)度焊(han)(han)接工(gong)藝研磨(mo)機幾何(he)形狀研磨(mo)砂輪焊(han)(han)縫質量(liang)。
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一(yi)(yi)種(zhong)減少鎢(wu)化學機(ji)械研磨(mo)微(wei)刮痕的(de)工藝,提供一(yi)(yi)半導體基(ji)底,其制作鎢(wu)插塞的(de)主要步驟有光阻涂布、微(wei)影,蝕(shi)刻。
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黝圖1-6銅化學機械拋(pao)(pao)光(guang)工藝流程(cheng)圖1-7雙嵌入形成鎢插塞和(he)局部互(hu)連(lian)1.3鎢鑲嵌圖3—2拋(pao)(pao)光(guang)速率,均勻性和(he)研磨臺轉速的依存性(32藝條件(jian)拋(pao)(pao)光(guang)頭壓力(li)-250hap;。
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一(yi)種改(gai)善接觸(chu)(chu)孔之(zhi)鎢(wu)化(hua)學機(ji)械研(yan)磨(mo)后平坦(tan)性(xing)的方法,包括:步驟S1:在硅基襯(chen)底上(shang)制備前道器件和(he)絕緣介質層;步驟S2:在接觸(chu)(chu)絕緣介質層上(shang)淀積對鎢(wu)金(jin)屬具有(you)高研(yan)磨(mo)選擇(ze)比(bi)的。
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