鎢電極研磨工藝的機械化-《電焊機》2004年09期
2004年9月(yue)23日-鎢電(dian)極(ji)研磨工藝機械化焊(han)接電(dian)極(ji)頭表面粗糙度(du)焊(han)接工藝研磨機幾(ji)何形狀(zhuang)研磨砂(sha)輪焊(han)縫質量。
一種減少鎢化學機械研磨微刮痕的工藝-200410066764-錢眼
一種減少鎢(wu)化學機械研磨微刮痕的(de)工(gong)藝,提供一半導(dao)體基(ji)底,其制作鎢(wu)插塞(sai)的(de)主要步驟(zou)有光阻涂(tu)布、微影,蝕(shi)刻。
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2013年6月22日-鞏(gong)義(yi)市佛瑞機械廠(chang)是專(zhuan)業生(sheng)產(chan)鎢礦選(xuan)礦設備的廠(chang)家[供]鎢礦石的浮選(xuan)工藝流程,選(xuan)鎢礦設備價格,[供]專(zhuan)業生(sheng)產(chan)螺旋式振(zhen)動(dong)研磨(mo)機10/14[供。
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黝圖(tu)1-6銅化學(xue)機械拋(pao)光(guang)工藝流程(cheng)圖(tu)1-7雙嵌入形成鎢插塞和(he)局部互連1.3鎢鑲嵌圖(tu)3—2拋(pao)光(guang)速率,均(jun)勻性和(he)研磨臺轉速的依存性(32藝條件拋(pao)光(guang)頭壓力-250hap;。
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一(yi)種改善接(jie)(jie)觸孔之鎢化學機械研(yan)磨(mo)后(hou)平坦性(xing)的方(fang)法(fa),包(bao)括:步驟S1:在硅(gui)基(ji)襯底上(shang)制(zhi)備前道器(qi)件和絕(jue)緣介質層;步驟S2:在接(jie)(jie)觸絕(jue)緣介質層上(shang)淀(dian)積對鎢金屬具(ju)有高研(yan)磨(mo)選擇比的。
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