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ULSI硅襯底化學機械研磨技術研究StudyofCMPLappingTechnique
硅(gui)(gui)錳(meng)(meng)冶煉渣簡稱硅(gui)(gui)錳(meng)(meng)渣,是冶煉硅(gui)(gui)錳(meng)(meng)合金的(de)過程中產(chan)生的(de)固體(ti)廢渣,由于冶煉工藝的(de)限制,硅(gui)(gui)錳(meng)(meng)冶煉渣中含有(you)一定(ding)量的(de)硅(gui)(gui)錳(meng)(meng)合金,尤其是硅(gui)(gui)錳(meng)(meng)干(gan)渣,其中的(de)硅(gui)(gui)錳(meng)(meng)合金含量較高(gao),。
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論文(wen)天下提(ti)供的(de)<八英寸銅化學機械研磨(mo)工藝對硅片(pian)腐蝕的(de)改善(shan);論文(wen)包括Cu-CMP腐蝕缺(que)陷研磨(mo)頭研磨(mo)盤等其他相(xiang)關(guan)內容論文(wen)。
金屬硅生產線,金屬硅顆粒磨粉設備生產工藝流程-恒宇機械的
在對單晶硅(gui)片進行化(hua)學機(ji)械(xie)研磨的過(guo)程中,通過(guo)改變化(hua)學機(ji)械(xie)研磨的一些重要工藝(yi)參數(用于超精(jing)密硅(gui)晶片表面的化(hua)學機(ji)械(xie)拋光(CMP)技術(shu)研究[J].潤滑(hua)與密封,2006,31。
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八英寸銅化學機械研磨工藝對硅片腐蝕的改善-收費碩士博士論文-
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化學機械研磨對硅片表面Haze值的影響-豆丁網
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長石砂巖研磨機(ji)械工藝(yi)流程(cheng)本信息已過期(qi),發(fa)布者可(ke)在"后臺(tai)管理"點(dian)擊"重發(fa)"。化學工業用(yong)于制(zhi)備硅(gui)化合(he)物和(he)硅(gui)酸(suan)鹽(yan),也可(ke)以使(shi)用(yong)作為填充劑的硫酸(suan)塔。玻(bo)璃(li)陶瓷硅(gui)酸(suan)。
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長石砂巖研磨機械工藝流程-KVOV信息發布網
本技術(shu)揭(jie)示的在化學機械拋光(guang)工(gong)藝中確定研磨(mo)時間(jian)的方法093半導體硅(gui)晶片水(shui)基研磨(mo)液053安全閥門研磨(mo)機044031氣力分(fen)級分(fen)離的粉碎或研磨(mo)工(gong)藝流程(cheng)039一種高(gao)。
機械加工中哪些用到研磨工藝_百度知道
《機械工(gong)藝師》1995年08期加(jia)入收(shou)藏(zang)獲(huo)取高精度(du)氣壓燒(shao)結氮化硅陶(tao)瓷(ci)球的4秦展田;陶(tao)瓷(ci)球研(yan)磨(mo)加(jia)工(gong)過(guo)程(cheng)的狀態監測[D];天津大(da)學;2007年5許秦;硬質。
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高精度氣壓燒結氮化硅陶瓷球的研磨技術-《機械工藝師》1995年08期
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2013年3月22日(ri)-化(hua)學機械(xie)拋(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)過程(cheng)使用安裝在(zai)剛性拋(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)平盤上(shang)的(de)柔性拋(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)墊,硅片被壓在(zai)拋(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)目(mu)前常用的(de)拋(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)方法有以下(xia)幾種氧(yang)化(hua)鋅材料的(de)切割(ge)、研磨(mo)、拋(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)工藝(研磨(mo)膏(gao)。
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名稱電(dian)(dian)化學機械(xie)研磨控制(zhi)工藝公開(kai)(公告)號(hao)CN1652898公開(kai)(公告)日2005.在(zai)其它實(shi)施(shi)例中,電(dian)(dian)流(liu)與移除物(wu)質有相關性(xing),此(ci)時在(zai)過程中乃監控電(dian)(dian)流(liu)以決定移除物(wu)質。
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本發(fa)明公開了一種化(hua)(hua)學機械(xie)研(yan)磨(mo)工藝的優化(hua)(hua)方法(fa),該方法(fa)包括:A、提供一實驗(yan)樣品,并(bing)按照當前的化(hua)(hua)學機械(xie)研(yan)磨(mo)CMP工藝參數對(dui)實驗(yan)樣品進行CMP工藝后,采用(yong)等(deng)離子體(ti)增強化(hua)(hua)學氣相。
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江蘇奇(qi)新金屬(shu)(shu)硅(gui)深(shen)加(jia)工(gong)機械設(she)備有限公(gong)司自動(dong)控制(zhi)DCSDCS自動(dong)控制(zhi)系統金屬(shu)(shu)硅(gui)深(shen)加(jia)工(gong)生產線設(she)備金屬(shu)(shu)硅(gui)深(shen)加(jia)工(gong)設(she)備金屬(shu)(shu)硅(gui)加(jia)工(gong)設(she)備金屬(shu)(shu)硅(gui)制(zhi)粉機金屬(shu)(shu)硅(gui)磨粉機金屬(shu)(shu)硅(gui)。
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東莞市百特研磨材(cai)料(liao)有限公司(si)是一(yi)家專業供應(ying)各種金(jin)剛(gang)砂(sha)磨料(liao):棕剛(gang)玉砂(sha),白(bai)剛(gang)玉砂(sha),百特本司(si)擁(yong)有專業技術人員采用美(mei)國諾頓工藝設備(bei)流程,生產出(chu)的產品質量穩定、品質。
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