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《機械工藝師》1995年(nian)08期加入收藏獲(huo)取(qu)高精(jing)度氣(qi)壓燒結氮化(hua)硅陶(tao)瓷球(qiu)的(de)4秦(qin)展(zhan)田;陶(tao)瓷球(qiu)研磨加工過程的(de)狀態監測[D];天津大學(xue);2007年(nian)5許秦(qin);硬質。
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高精度氣壓燒結氮化硅陶瓷球的研磨技術-《機械工藝師》1995年08期
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名(ming)稱電(dian)化學機(ji)械研磨(mo)控(kong)制(zhi)工(gong)藝公(gong)(gong)開(kai)(kai)(公(gong)(gong)告)號CN1652898公(gong)(gong)開(kai)(kai)(公(gong)(gong)告)日2005.在(zai)其它實施例中(zhong),電(dian)流與移除物質有相關性,此時(shi)在(zai)過(guo)程中(zhong)乃(nai)監(jian)控(kong)電(dian)流以決定移除物質。
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研磨機大推薦:程序控制操作簡單(圖)-機械工業,研磨機-機械工業
本發明公(gong)開了一(yi)種化(hua)學機(ji)(ji)械(xie)研磨(mo)工(gong)藝(yi)(yi)的優(you)化(hua)方法,該方法包括:A、提供一(yi)實驗樣品,并(bing)按照當前(qian)的化(hua)學機(ji)(ji)械(xie)研磨(mo)CMP工(gong)藝(yi)(yi)參數對實驗樣品進行(xing)CMP工(gong)藝(yi)(yi)后,采用等離子體(ti)增強化(hua)學氣相(xiang)。
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